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林双芝颤抖的手,虚虚摸了摸眼前的大家伙,目光柔和激动到热泪盈眶!
虽然改进后的光刻机,几乎已经看不到原版接触式光刻机的轮廓,但是这其中的性能跨越式提升,代表的科学技术提升,她只有高兴和激动!
他们最初的接触式光刻机,和幻灯机一样简单,就是把光通过带电路图的掩膜Mask投影到涂有光敏胶的晶圆上。掩膜板是11尺寸紧贴在晶圆片上,之前,他们的晶圆也只有1英寸大小。
英寸和纳米之间,海拔式的制程进步,谁的心潮能够不汹涌澎湃!
他们真真正正,完满了她归国的祈愿,真真正正让国内掌握了了不得的技术,还是国际最先进前沿光刻技术!
“竞株同志,谢谢你,谢谢你的大才,谢谢你的无私!”林双芝尊崇敬礼,谢谢竞株同志,让他有生之年,还能学到这样先进的理论技术,现在说一声此生无憾,她都不觉得夸张!
那些她囫囵吞枣学下来,记住的理论知识,几乎可以让她用数年十数年的时间,去消化,去深耕,去做出来成果。
“都是我应该做的,双芝同志,麻烦你配合我做第一次芯片加工!”这一声请托,也是姜竞株期待已久的操作。
所有材料都已经就位,总算可以进行芯片加工了。
无论是材料的研发,还是光科技的改进,姜竞株的目标一直很明确,所有的辅助研发,都是为了雷达集成电路逻辑运算控制芯片的诞生。
当然,这其中延伸出来的各项精密技术、设备,能够在其他方面与国有用,也是一举数得的好收获!
比起YU1项目,整个02雷达项目的进度,相对来说,因为各种技术需求的欠缺,以及她的研发目标,推进进度并不是太快。
现在,整个项目流程,总算是推进到了重要进程。
芯片到位,下一步雷达从内而外的组装,才能够继续进行。雷达所涉及到的其他各种精密电子元件,丰老团队,已经在加工行列。只待芯片东风到位,一举完成最后雷达制备组装。
“好,竞株同志请指示!”林双芝立即就位,她很荣幸,因为属于这个领域,被竞株同志选中,和她一起完成第一块芯片的加工。
他们之前,只能说是叫集成线路,还称不上芯片。竞株同志这次的加工,才是真真正正的架构芯片。
清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀···一步步的流程精准操作下来,这是姜竞株在意识海模拟多变的操作,每一步,都是再三琢磨,优中选优,不带半点儿无用操作。
行云流水,驾轻就熟的操作,在其他人看来,流畅的仿佛似是一幅画卷。但是,他们同时明白,这里面每一步操作,都是精密科研成果的凝结。
听说光刻机要求非常严格,他们已经尽可能的准备了符合的环境,但是如今,依然没有任何人敢说话,几乎屏住呼吸,只敢在远远看着。
第一次操作,还是验证性动作,他们只做了一个晶圆六十芯片的操作。当然,这远没有达到这台改进光刻机的最大加工范畴。
时间划过,一步步的加工流程走完,28nm标准尺寸的芯片新鲜出炉,姜竞株协同林双芝立即对其进行封装,他们选用的是陶瓷封装,这是目前比较便捷实用的材料。
封装的陶瓷材料,是姜竞株做过进一步调整,抗震耐摔耐磨,能够很好保护芯片,还能增强其热性能和电性能。
封装完成后,芯片的基本加工,算是告一段落。从加工室出来后,所有人看着托盘上那一排小小个儿,却蕴含着非同一般技术凝结的芯片,所有人的心情,此刻都是上扬的胸花怒放。
“竞株同志,我们这是彻底成功了吧!”所有人盯着那小小芯片的目光,有志一同的期待明亮。他们百分百相信竞株同志的能力,多少次的验证,竞株同志的能力毫无置疑。
“基础加工是成功的,还要看最终测试结果!”
姜竞株心中,还有不少的期待,她也想看看,在意识海推导多时,终于完工的光刻机,进入现实操作,最终现实结果是如何!
马上,他们就要进行最后一关,对芯片一系列的测试来确保芯片的性能和质量,以及确定其性能质量和良品率。这个步骤,也是对他们这一系列研发,以及光刻机性能的最终验证。
姜竞株对于科研的态度,对自己,是一直保持着高要求,她一直坚持,芯片制作是一个精密而复杂的过程,不到最终测试走完,都不说她绝对成功。
当然,姜竞株在一项项测试展开的时候,心中并无忐忑,她对自己的能力还是有信心的。
百分百良品率是有些压力,毕竟,这台光刻机的光源是她一步到位选得极紫外光,这种即使在后世,也是以光源非常不稳定,容易受到污染和衰减,影响曝光效果,娇贵出名。
再加上光刻胶在曝光过程中需要精确的化学反应,任何微小的误差都会导致良品率下降,她已经在研发过程中,尽量用设计去弥补这方面的问题,但到底是第一次实战操作,具体还是要看实际结果!
但是她和林同志配合得当,操作精准,以及用极紫外线加工的是28nm尺寸的基础芯片,超过一半的概率,还是挺大的!
在芯片制程方面,姜竞株选择28nm,不是姜竞株不能再继续推导更精密的芯片制程,而是再往下,每一步缩小制程尺寸,所需要的研发经费,以及所要达成的条件,都是非同一般!
哪怕她有足够的预研推导能力,目前的加工也很难达到要求,良品率过低,实在太浪费,费时费力还不易推广,实在不符合目前的发展。
最关键的是,这个制程尺寸,很多需求下,都足够使用,甚至为了这个尺寸精度,还要调整原设计方案。
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